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科得尔传感器半导体行业应用
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科得尔高精度激光测距位移传感器、光谱共焦传感器及3D激光线扫描传感器,可根据客户需求提供定制化服务,为半导体行业提供多样化的精密测量解决方案。
科得尔高精度测距/位移传感器,可为光刻胶涂布机,划片机,提供高精度厚度检测,为晶圆视觉检测系统协助系统进行焦点调节;光谱共焦传感器可检测晶圆刻痕;3D激光线扫描传感器可实时显示扫描图,及时检测晶圆质量合规性等。
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